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硅粉回收罐的出料口與三氯氫硅合成爐回收口連接。該設(shè)備還設(shè)有氣體緩沖罐,氣體緩沖罐與硅粉回收罐相連通。在三氯氫硅專用硅粉回收罐頂部設(shè)有平衡泄壓。
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三氯氫硅,一種無機物,分子式為Cl3HSi,分子量為135.45,無色透明液體。用作高分子有機硅化合物的原料,也用于儀表工業(yè)?;拘畔e名硅氯仿、硅仿、三氯硅烷;T。詳情基本信息-安全防護-危險分析-防范對策
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