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全自動(dòng)12尺寸晶圓研磨機(jī)參數(shù)

上海磨粉機(jī)產(chǎn)品

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硅晶棒在經(jīng)過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也是晶圓。目前國(guó)內(nèi)晶圓生產(chǎn)線以8英寸和12英寸為主。晶圓的主要加工方式為片加工和批加工,即同時(shí)加工1片或多片晶圓。

5全自動(dòng)激光劃片機(jī)1臺(tái)詳見第八章技術(shù)規(guī)格6全自動(dòng)晶圓拋光研磨機(jī)和全自動(dòng)晶圓貼膜去膜機(jī)各1臺(tái)詳見第八章技術(shù)規(guī)格7全自動(dòng)外觀光學(xué)檢查機(jī)1臺(tái)詳見第八章技術(shù)規(guī)格。

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GNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄規(guī)格Maximumwafer-machiningdiameterofwafer64”or8”GrindingSpindle:BearingtypeAirbearing,maximum3600rpmMotor2.2kw,4P,hig。

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晶圓工藝是從大的方面來講,晶圓生產(chǎn)包括晶棒制造和晶片制造兩大步驟,它又可細(xì)分為以下幾道主要工序(其中晶棒制造只包括下面的道工序,其余的全部屬晶片制。詳情>>

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研磨后,進(jìn)入刻蝕和清洗工藝,使用氫氧化鈉、乙酸和硝酸的混合物以減輕磨片過程中產(chǎn)生的損傷和裂紋。關(guān)鍵的倒角工藝是要將晶圓片的邊緣磨圓,徹底消除將來電路制作過程中。詳情>>晶圓片-檢測(cè)方法-產(chǎn)品應(yīng)用

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